TY  - CONF

T1  - Non-planar photolithography using digital holograms

JO  - Optics InfoBase Conference Papers

PY  - 2006/01/01

AU  - McWilliam R

AU  - Johnson S

AU  - Maiden A

AU  - Purvis A

AU  - Luke Seed N

AU  - Williams GL

AU  - Ivey PA

ED  - 

SN  - 9781557528186

Y2  - 2024/09/20

ER  -