TY  - JOUR

T1  - Dual wavelength optical metrology using ptychography

JO  - Journal of Optics (United Kingdom)

PY  - 2013/03/01

AU  - Claus D

AU  - Robinson DJ

AU  - Chetwynd DG

AU  - Shuo Y

AU  - Pike WT

AU  - De J Toriz Garcia JJ

AU  - Rodenburg JM

ED  - 

DO  - DOI: 10.1088/2040-8978/15/3/035702

VL  - 15

IS  - 3

Y2  - 2024/09/20

ER  -