TY  - JOUR

T1  - High speed nano-metrology.

JO  - Rev Sci Instrum

PY  - 2011/04/01

AU  - Humphris ADL

AU  - Zhao B

AU  - Catto D

AU  - Howard-Knight JP

AU  - Kohli P

AU  - Hobbs JK

ED  - 

DO  - DOI: 10.1063/1.3584935

VL  - 82

IS  - 4

SP  - 043710

Y2  - 2024/09/20

ER  -